特气系统工程技术规范

特气系统工程技术规范

1 总 则

1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规范。

1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。

1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。

2 术 语

2.0.1 特种气体 specialily gas

用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。

2.0.2 特种气体系统 speciality gas system

特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体间 speciality gas room

是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。 2.0.4 硅烷站 silane station

是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。

2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。

2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。

2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。

2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders

用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。

2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC)

特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。

2.0.11 气瓶架 gas rack (GR)

特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。

2.0.12 阀门箱 valve manifold box (VMB)

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。

2.0.13 阀门盘 valve manifold panel (VMP)

特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP各支管可根据需要设置调压阀。

2.0.14 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas 在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体。 2.0.15 尾气处理装置 local scrubber

用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。 2.0.16 气体探测系统 gas detector system(GDS)

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的含量来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供应急处理数据的系统。

2.0.17 气体管理系统 gas management system(GMS)

包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送与处理系统的气体管理与控制系统的统称。 2.0.18 最高允许浓度值 threshold limit value(TLV) 工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。 2.0.19 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL) 可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。 2.0.20 卧式气瓶 y-cylinder/t-cylinder 用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L，1000L。 2.0.21 自燃气体 pyrophoric gas 在空气中会发生自动燃烧的气体。

2.0.22 可燃气体 flammable gas 指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的气体。 2.0.23 毒性气体 toxic gas LC50超过200ppm但不超过2000ppm的气体。

2.0.24 腐蚀性气体 corrosive gas 是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆反应的气体。 2.0.25 氧化性气体 oxygenize gas 是指在一定条件下，与材料接触会产生较为剧烈的失去电子的化学反应的气体。 2.0.26 惰性气体 inert gas 在一般情况下与其它物质不会产生化学反应的气体。 2.0.27 限流孔板 restrict flow orifice(RFO) 限定系统最大流量的一种装置。 2.0.28 过流开关 excess flow switch(EFS) 流量超出设定值时，给出开关信号。 2.0.29 AP管 annealed and pickled pipe

经过酸洗或钝化、去除表面残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。 2.0.30 BA管 bright annealing pipe

经加氢或真空状态高温热处理，消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管。 2.0.31 EP管 electro-polished pipe

经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少,表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。 2.0.32 吹扫 purge 用氮气和氩气对特种气体系统内的其它气体进行置换的过程。 2.0.33 排气 vent 特种气体设备与系统中排出的本质气体。

2.0.34 数据采集与监视控制系统 supervisory control and data acquisition（SCADA）

是以计算机为基础的生产过程控制与调度自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。

2.0.35 工厂设备管理控制系统 facility management control system（FMCS） 用于管理工厂动力设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。 2.0.36 大宗硅烷系统 bulk silane system

是指容器水容积超过250L的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车(T/T)、ISO标准储罐，以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。

2.0.37 气体面板 gas panel 集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件并安装在气瓶柜内的专用设施。 2.0.38 开敞式建筑 open area 立柱和墙面遮挡部分小于周长的25%的建筑。

2.0.39 内向检漏 inboard he leak test 又称喷氦法测试. 采用内部抽真空，外部喷氦气的方法，测试管路系统的泄漏率。 2.0.40 阀座检漏 cross seat he leak test 采用阀门上游充氦气，下游抽真空，检测泄漏率的方法。

2.0.41 外向检漏 outboard he leak test 又称吸枪法测试，采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查漏点泄漏率的方法。 2.0.42 不相容性 incompatible 不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。 2.0.43 ISO标准储罐 ISO module

按国际标准组织（ISO）要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过1218L的储罐或长管气瓶的总称。 2.0.44 大宗特气输送系统

应用：1）集束钢瓶（容积小于50L钢瓶数量超过12个以上）；2）Y型钢瓶；3）T型钢瓶；4）长管拖车；5）ISO槽罐等进行特种气体储存和送气作业的系统。

3 特种气体站房

3.1 一般规定

3.1.1 特种气体站房包括布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站和布置在生产厂房内的特种气体间。 3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供应特种气体。

3.1.3 在生产厂房内的特种气体间内的最大允许储存量见表3.1.3，当生产厂房内的气体储量超过规定数量时，应设计独立的特种气体

站。

表3.1.3 生产厂房内最大允许储存量

序号 1 2 3 4 5 6 气体种类 可燃气体 毒性气体 剧毒性气体 自燃气体 氧化性气体 腐蚀性气体 气体总量[1]立方米 56 92 1.1 2.8 170 92 说明: [1] 标准状态下的气体体积量.

3.1.4 集合工艺设备的布置情况，生产厂房内的特种气体间应集中布置在生产厂房一楼靠外墙的区域。 3.1.5 低蒸汽压力特种气体供应设施应尽可能靠近工艺设备。

3.1.6 布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、槽车、长管拖车向生产线供应特种气体。 3.2 气体站房分类

3.2.1 特种气体依其物性及安全特性，将其分为可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性气体。

3.2.2 布置在生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性气体间。 3.2.3 独立布置的特种气体站有硅烷站、氨气站等。 3.3 特种气体设备的布置

3.3.1 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里，如果布置在同一房间，气瓶柜架之间的距离应大于6米。 3.3.2 同时具有可燃性和毒性气体应放在可燃性气体间

3.3.3 特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、就地尾气处理装置、气瓶集装格宜靠墙布置，具有相同或相近气体性质的设备应布置在一起。 3.3.4 特种气体间的中间通道宽度不得小于2米，特气柜与墙体之间的距离宜大于0.1m，特气柜之间的距离宜大于0.1m,气瓶集装格宜靠墙布置。布置应考虑维修与运转空间。

3.4.5 硅烷站内长钢瓶拖车宜放置在硅烷站的室外空旷地坪。

3.4.6 特种气体系统的电气控制盘、仪表控制盘的布置，应符合下列规定：

1 应布置在与特种气体供应设备室相邻的控制室内，隔墙上可以设置防爆密闭观查窗。

2 控制室应以耐火极限不小于2h的隔墙和不低于1.5h的楼板与特种设备间隔开，穿越隔墙的管道应以防火材料填堵。

4 特种气体工艺系统

4.1 一般规定

4.1.1 电子工厂的特种气体工艺系统应设置下列装置： 1. 储存与送气的气瓶柜、气瓶架、集装格； 2. 气体输送与分配用阀门箱或阀门盘； 3. 辅助氮气吹扫系统； 4. 尾气排放处置系统。

4.1.2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体使用的安全操作、工艺参数、污染控制的要求。 4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不应接入同一排气系统。 4.1.4 不相容的特种气体的排风管道不应接入同一排风系统。 4.2 特种气体输送系统

4.2.1 特种气体系统的气瓶柜与气瓶架的设置应符合下列规定

1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的气瓶柜用气瓶容积不得大于50L； 2 氧化性和惰性气体的气瓶架用气瓶容积不得大于50L；

3 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气（源）瓶（单瓶式）、双工艺气瓶外置吹扫氮气（源）瓶（双瓶式）、双工艺气瓶内置吹扫氮气（源）瓶（三瓶式）等多种结构配置；

4 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中；

5 气瓶柜与气瓶架应设有分配、作业用气体面板，气体面板的要求详见4.2.2条； 6 系统的供应能力必须经过相应的热力学和流体力学计算核实；

7 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，其排风换气次数不得低于300次/小时； 8 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄漏探测器； 9 气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于2.5mm，并有防腐蚀涂层。 10 气瓶柜门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗； 11 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标示牌； 12 气瓶柜地脚螺栓的设计要满足当地地震烈度的要求。

13 当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的规定。

4.2.2 特种气体气瓶柜与气瓶架的气体面板设置应符合下列规定：

1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置尽量靠近气瓶端； 2 气瓶压力大于0.1MPa的自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关； 3 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫系统；

4 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有辅助抽真空装置，该管路必须设置止回阀； 5 各种特种气体面板均应设置工艺气体排气口； 4.2.3 可燃特种气体气瓶柜的设置应符合下列要求

1. 硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次／小时。气瓶柜的负压应持续监控； 2. 自燃性气瓶柜应设置紫外红外火焰探测器；

3. 可燃与自燃性气瓶柜应设置水喷淋系统，但是ClF3气瓶柜不应设置水喷淋系统； 4. 自燃性气体气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。 4.2.4 大宗特种气体输送系统应设置下列装置

1 独立设置的气（液）瓶、储罐或长管拖车及其压力指示或钢瓶称重装置、连接回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、电气控制柜；

2 大宗特种气体输送系统的其它功能配备应符合第4.2.1条的规定；

3 大宗特种气体输送系统的供应能力必须经过相应的热力学和流体力学计算核实；

4 大宗特种气体输送系统宜单独建站，或置于单独的气体房，并考虑消防间距和物流通道等； 5 液化气体瓶的大宗特种气体系统应设计合适的钢瓶加热与保温装置。 6 大宗特种气体应考虑在减压前对气体进行预热。 4.2.5 液态特种气体输送系统

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