PECVD操作指导书

江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 1. 目的：规范操作，为生产车间操作规范化提供依据 2. 范围：适用于PECVD设备使用工序.

3. 职责：

3.1.1负责PECVD设备的开机和关机程序。 3.1.2负责PECVD设备的日常维护。

3.1.3负责发现作业过程中其设备出现问题怎样解决。

4. 名词定义：无 5. 设备使用程序：

5.1 使用环境及工作条件

5.1.1 环境温度 5.1.2 相对湿度 5.1.3 净化等级

＜25℃ ＜75%

1000级~10000级

5.1.4 电源 三相五线，380V/50HZ，≤50KW/管 5.1.5 供水 5.1.6 供气

水压0.2MPa~0.4MPa

SiH4 NH3 N2 O2 CF4五路气体，气压

0.2MPa~0.45MPa 5.1.7 配排风排毒装置

5.2对环境及能源的影响

PECVD设备本身对环境及能源没有任何影响，若用户采用不同的工艺，使用不同的气体可能对环境稍有影响，但由于用气量非常小，不会造成任何危害。

5.3安全

版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 本设备在设计过程中已充分地考虑了安全因素，只要用户不违反操作规程绝不会出现安全事故。唯一可能在工艺过程中使用易燃气体SiH4，气体源应远离操作台，工作场地禁止使用明火，工作人员禁止吸烟。所有气路管道不允许有任何泄漏点。

5.4使用前的准备

5.4.1 接通整机电源； 5.4.2 接通本机水路； 5.4.3 接通各路气路。

若设备停止工作时，应该将反应管内部抽成真空，停止加热，其目的是为了防止真空管路过热，会使压力传感器严重零漂，影响压力测量。待温度低于250℃再停水，并关断NH3、SiH4等气体的手动阀。

6设备开启及关闭条件和方法

6.1开启条件

炉门开启前提条件：A、“常压”灯亮；B、“推舟退到位”亮； 炉门关闭前提条件：A、“推舟退到位”亮；

手动推舟运动的前提条件：A、炉门“旋转开到位”亮；B、炉门汽缸“退 到位”亮；C、“常压”灯亮；

送片运动的前提条件：A、炉门“退到位”亮；B、炉门汽缸“退到位”亮；

版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 C、“常压”灯亮；D、升降处于“上位”；E推舟处于“退到位”； 取片运动的前提条件：A、炉门“退到位”亮；B、炉门汽缸“退到位”亮；C、“常压”灯亮；D、升降处于“下位”；E推舟处于“退到位”； 慢抽开启前提条件：A、炉门“旋转关到位”亮；B、炉门汽缸“进到位”亮；

主抽开启前提条件：A、“真空”灯亮；

特气阀开启前提条件：A、真空压力低于600Pa；

射频电源稳定工作条件：A、压力稳定；B、无片子短路；C、电极接触良好；

以上信号注意“常压”信号的正确性，由于此信号为电接点压力表提供，触点的力较小，有时需要人为轻轻啪一下电接点压力表，让“常压”灯亮；“真空”信号为电接点压力表与真空测量压力表共同提供的，信号较为可靠。

推舟系统的到位信号除了升降“上位”和升降“下位”是旋转编码器提供外，其它一律为光电行程开关定位；

由于旋转编码器无断电保持功能，注意在设备重新上电后，一定要对升降进行一次归原动作，方法是将升降机构往下运动，一直到“下位”，然后根据需要为送片还是取片，将其运动到“上位”或保持在“下位”；如果设备重新上电后没有对升降进行归原动作，有可能升降碰

版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 到极限开关，显示屏“极限开关”会亮，解决方法是停止升降动作，将固定升降极限开关的固定板送开，将升降运动至“下位”，再固定好极限开关的固定板；

6.2设备关闭方法

a、关闭加热；b、将反应室抽成真空；c、关闭慢抽和主抽；d、关闭真空泵；e、退出系统；f、关闭设备控制电源；g、断开墙上总电源

6.3设备启动方法

a、合上墙上总电源；b、开启设备控制电源；c、进入计算机系统；d、开启真空泵；e、开启加热；f、选定工艺文件；（注意检查水、电、气）

对于泵的启动方法有两种：A在计算机上启动；B在泵的编程器上启动；停止方法也一样

7 常见故障分析与排除

由于本设备是台特殊、专业性很强的设备。它集机械、电子、高频、计算机、真空、气体、传动及温度控制为一体，如使用得当，经常维护，就不容易出故障。如不按使用说明书严格操作，可能会出错，严重时可能会损坏设备，甚至出现人身事故。

常见故障分析与排除 序号 故障现象 故障原因分析 版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 排除方法 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by 江西佳辉光电科技有限公司 PECVD设备使用作业指导书 编号：JH-01 共10页 第1页 1 温控仪显⑴断偶 示 H.H.---- ⑵接触不良 ⑴更换热偶 ⑵检查接线端是否松动 ⑶补偿导线被损⑶更换补偿导线 坏 2 ⑴如温控表没有信号输出，温度⑴超温或断偶报继续升高，一般是可控硅被击穿，更换可控硅芯子即可。 ⑵打开水源，如无水应停机，否则会烧坏密封圈。 蜂鸣器叫 警 ⑵停水报警 3 温度超温消音按钮被误按将消音开关复位 而蜂鸣器下 不叫 4 水平层流⑴风机损坏 ⑴更换风机 无风或风⑵高效过滤器老⑵更换高效过滤器 量小 化 ⑴功率部件保险⑴更换保险芯 炉体某段芯断 不升温 ⑵可控硅开路 ⑵更换可控硅 审核日期 批准人 批准日期 Checked Approved Approved Date by Date 5 版 编写人 本 Prepared Re by v. 范祥 编写日期 审核人 Prepared Checked Date by

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