实验2 扩散硅压阻式压力传感器实验模块

实验二扩散硅压阻式压力传感器实验模块

（一）扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验 2.1实验目的：

2.1.1、了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。

2.2实验设备和元件：

2.2.1实验设备：2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块、14号交直流、全桥、测量、差动放大实验模块、数显单元20V、直流稳压源+5V、+12V、-12V电源。

扩散硅压阻式传感器底压咀GNDVO+1234P2接实验台VSVO-P1高压咀VS接+4V OR 5MAVO+322GND4VO-1接测量放大器输入端0-0.1MPa0-0.1MPa扩散硅压阻式传感器实验模块+12VGND-12V14交流、全桥、测量、差动、放大实验模块直流电桥ARXCR16 1KR14 1KR15 1KBDW110K平衡调节CR11KW210KW5W310KW410K10KW610KLM324IC1IC30-20VIC310KA10KBDIC2交流电桥

图2-2

2.3实验内容：

2.3.1、按图2-2把2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块VS端连接+5V电压，GND端连电源地GND。V0+、VO-输出连到14号模块一起输入端的VIN+、VIN-，具体连线见图2-2，连通电源。

2.3.2、将2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块的P1、P2加压旋钮旋出，使压力表均

指示为0。

2.3.3、放大器输出VO2和GND分别接到电源模块数显表的V、GND孔。将显示表选择开关拨到20V档，调节W5、W6使数显表显示为零（若调不到零请旋W3、W4改变放大倍数）。

2.3.4、旋动P1旋钮加压，记下输出电压值，反之松开P1使压力表为0，旋动P2旋钮加压，记下输出电压值。

2.4实验结果与讨论33

P（Kpa） 10 V O2(V)P1 V O2(V)P2

0.68 -0.70 20 0.97 -0.98 30 1.32 -1.36 40 1.80 -1.68 50 1.96 -1.97 60 2.39 -2.33 70 2.65 -2.60 80 2.91 -2.90 90 - - 100 - - （二）扩散硅压阻式压力传感器的差压测量实验 2.1实验目的：

2.1.1、了解利用压阻式压力传感器进行差压测量的方法。

2.2实验设备和元件：

2.2.1实验设备：2号扩散硅压阻式压力传感器实验模块、14号交直流、全桥、测量、差动放大实验模块、数显单元20V、直流稳压源+5V、+12V、-12V电源。

2.3实验内容：

2.3.1、压阻式压力传感器的硅膜片受到两个压力P1和P2作用时由于它们对膜片产生的应力正好相反，因此作用在压力膜片上是△P=P1-P2，从而可以进行差压测量。

2.4实验结果与讨论

2.4.1、详细记录实验结果。 V O2(V) P1（Kpa） P2（Kpa） 0.68 10 13 0.97 20 23 1.32 30 33 1.80 40 42 1.96 50 54 2.39 60 64 2.65 70 72 2.91 80 82 2.4.2两个压力表引起误差原因分析：

△P=3左右，可见误差比较固定，观察发现P2较P1松动，是属于系统误差。 2.4.3、简要分析实验中出现的问题及处理方法。

首先P2继续增压的时候，发现其不能增加到预期的100Kpa，最高只能在85Kpa，

只能记录到此。

P2较松动，这对结果会有影响。结果发现，确实如此。

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