刻蚀机机械手操作说明书

宜兴迈吉太阳能科技有限公司

文件 编号 生效日 期

MGS-WHD-2010-0101

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扩 散 全自 动装 片手 操作 说 明书

2010、01、01

一、目的： 本操作指导书规范了扩散炉全自动装片手的规范操作过程。 二、范围： 本操作指导书仅适用于制绒工艺后将进行扩散工艺的硅片。 三、职责： 操作人员应确保硅片正确装载。 四、操作内容： 4.1 操作人员在工作前应穿戴好工作服、工作帽、口罩和干净清洁的一次乳胶手套(乳胶手 套里面需戴棉手套) 。戴工作帽时应注意将头发裹住。 4.2 将硅片从传递窗取出,确认硅片的类型及数量等内容，记录好硅片的数量。 4.3 确保每次交班时在自动工作模式下对机械手进行’Initial Position’(机械初始化， 密码为 12021) ,若操作屏幕下方的’STOP’灯亮起则表示设备正常可以进行操作，否则请联 系设备部检查。 4.4 确认检测机操作界面上系统处于自动工作模式，点击’START’按钮，设备进入自动工作 状态；同时确认 GP 检测仪已正确开启。 4.5 确认设备后端的空花篮位置摆放正确(花篮位置摆放请参照花篮进口处的标识应与俯视 花篮的正面形状一致，并按下’Inlet’按钮) ,花篮将自动进入机台。 4.6 完成以上步骤后设备进入正常自动工作模式；如果设备发生报警，须及时参考《WHD 常 见错误及解决办法》 ,如果无法解决应即时告知设备部。 4.7 每班作业完成后应填写《生产部各班扩散生产登记表》 。 五、工作模式选择 5.1 机台有三种工作模式—‘Loading Only‘、 ‘Unloading Only‘、 ‘Loading/Unloading‘; 5.2 根据生产情况如需更改工作模式，可先将机台设置在‘STOP‘状态，即确认机台上‘STOP ‘灯处于常亮状态；点击左边的‘Option‘按钮，找到‘Loading Mode‘按钮 六、特殊情况或紧急情况处理 6.1 如遇特殊情况或紧急情况需关闭机台请参照此项。 6.2 双击操作界面左上角空白处，在跳出的窗口内输入密码‘12021’ ,点击确认；点击中间 的‘Shutdown’按钮，系统进行自动软关机。 6.3 若 GP 检测软件未关闭，则关闭 GP 检测软件并在 PC 界面对电脑进行关机。

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扩 散 全自 动装 片手 操作 说 明书

2010、01、01

5.4 确认所有三个屏幕都已黑屏，即表示系统软关机完成；到后面的电箱上把‘Main Swith’ 转到‘OFF’ ,即完成机台关机。 6.5 机台开机时首先将设备背面电源控制柜上的‘Main Swith’转到‘ON’,等待 5 分钟后， 机台软件系统将自动开机；点击软件界面上的‘Start Machine’按钮，进入系统后点击 ‘

Option’ 按钮， ‘Wafer Format’ 找到 按钮并点击 (硅片尺寸选择) 选择硅片尺寸为 ， ‘156*156 ‘;最后进行机械复位，点击‘Initial ’ (机械初始化，密码为 12021) ,若操作屏幕下 方的’STOP’灯亮起则表示设备正常可以进行操作，否则请联系设备部检查。

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