多晶PECVD镀膜不良（边缘白边）分析报告

工艺分析报告

电池二部多晶管P镀膜不良分析报告

部门： 电池二部

姓名： 马世耀 郑波波

小组： 工艺 日期： 2012.1.11

一、异常描述

1、2012年1月11日白班，10:30发现D1,F1，F6，E4等舟出现整舟边缘镀膜异常片，从10:30至15:30共产生同样异常片3800pcs； 2、异常片如图1-1和1-2所示；

3、该异常片在JJC3号机、4号机、5号机和6号机均有出现，且出现的炉管和石墨舟无规律可循；

二、可能原因分析 1、

三、实验验证

四、原因分析

五、改善措施

1

工艺分析报告

六、改善结果

七、结论和建议

2

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