多晶铸锭炉技术参数123

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附件1：JZ-460/660多晶铸锭炉技术参数

一、JZ-460/660型多晶铸锭炉介绍

JZ-460/660型多晶铸锭炉能生产520KG/660KG-800KG优质的多晶硅锭，本设备的生产量很大，能在60个小时的时间内生产出合格的硅锭。设备操作简单，直观的界面，给操作人员节省很多时间来处理设备的运行情况，从而极大的提高了生产效率，节约了成本。JZ-460/660型多晶铸锭炉使用高纯度的内涂氮化硅的石英坩埚，运行过程中，通过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而由下往上定向长晶，在整个长晶过程中只有隔热层一个部件在运动，大大减少了故障的发生，从而提高了炉子的稳定性能。

整个工艺过程分为装料，抽真空，检漏，加热，熔化，长晶，退火，冷却。装料是在喷有氮化硅涂层的石英坩埚内，在保证不破坏涂层的条件下，进行装料。装完料后开始抽真空，当压力降到0.008mbar时即可检漏，如果设备检漏通过，此时我们即可开始自动运行设备，按照配方工艺步骤运行。在晶体生长过程中，一般自坩埚底部开始降温，当硅熔体温度低于熔点时，在接近坩埚底部处首先凝固，形成许多细小的核心，然后横向生长，当核心相互接触时，再逐渐向上生长，长大，形成柱状晶，柱状方向与晶体方向平行，直至所有的硅熔体都结晶为止，这样制备出来的多晶硅的晶粒大小，晶界结构，缺陷类型都很相似。对于重量为520kg的铸造多晶硅而言，硅锭尺寸一般为840*840*316mm。目前JZ-460/660炉型已被著名硅片制造厂家批量采用，稳定生产出高质量的硅锭。

二、JZ-460/660型多晶铸锭炉使用需要的环境条件(户内) a) b) c)

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环境温度：20±5℃

环境湿度： ≤ 65%（不结露）

地质震动要求：外界震源：当大于10HZ时，振幅小于0～0.003mm

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三、我公司JZ-460/660多晶铸锭炉技术性能参数表 序号 1 2 3 4 电源电压 电源频率 电源相数 电源功率 520～550Kg 5 坩埚尺寸 660～800Kg 520Kg 660Kg 抽空极限真空度 长晶等阶段工作压力 7 炉内真空度 允许泄漏量 测量范围 最高极限温度 8 炉内温度与测量最高温度 测量 R型热电偶 红外测温仪 炉体内直径 炉体内高度 内/外部尺寸 下腔室升降行程 隔热钢笼升降行程 主机（长×宽×高） 平台（含单边梯子） （长×宽×高） 10 11

项目 参数 380VAC 50HZ 3相 200KW 870×870×480mm 1040×1040×480mm 840×840×316mm 1000×1000×283mm 1Pa以下 600mbar ≤2Pa/5min 0.0133～1.33×1575℃ 1800℃ 重复精度：±0.5℃ 重复精度：±1℃ ￠2100mm 2625mm 950mm 380mm 3230×3200×4850mm 5160×4730×4160mm 5500kg 3350kg 最大0.45MPa Pa 备注 真空机组电源功率11.5KW，电控系统电源10KW 推荐 推荐 2 / 8

6 铸锭尺寸 9 重量 冷却水 主机 平台 入口压力 [键入文字] [键入文字] [键入文字]

入、出口压力差 入口水温 流量 12 备用水（紧流量 急情况） 所需氦气 维持时间 压力 13 用量 压力 14 所需氩气 用量 流量控制范围 压力 15 压缩空气 用量 流量 电压 16 所需真空机功率 组电源 频率 相数 电压 17 所需电控系功率 统电源 频率 相数 电压 18 所需加热系功率 统电源 频率 相数 19 20 21 泄露率 标准熔料量 生产周期 0.25MPa ≤28℃（最好24±1℃） 160～180L/min >160L/min ≥10h 0.3MPa以上 6～7m/硅锭 0.3MPa以上 70～75m/硅锭 0～200L/min 0.5～0.7MPa 0.5 m3/炉 100L/min 380V 11.5KW 50Hz 3相 380V 10KW 50Hz 3相 380V 200KW 50Hz 3相 <1Pa/h 520～550kg(460热场) 约60小时（适用于520kg硅碇） 33 停水时能立即换至备用水 可选项 3 / 8

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泄压安全阀接管口径 氩气接管口径 22 管路接口 氦气接管口径 压缩空气 冷却水入、出口口径 抽气速率 23 真空机组 主管路进气口径 辅管路进气口径 出气口径 提升高度 24 叉车（选配） 载重量 前脚高度 两只前脚宽度 25

UPS（选配） Φ150 mm NW-16法兰 NW-16法兰 Φ8软管接头 Rc2″ 300L/S Φ150 mm Φ16 mm Φ76 mm 最大2000 mm 最大1000Kg 最大110 mm 最大1300 mm 3000VA， 16只，12V，24AH 四、供货清单

序号 1 2 3 4 5

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货物名称 主机 电控柜 变压器电源柜 真空机组 热场 规格型号 JZ-460/660 单位 台 台 台 台 套 数量 备注 京运通 京运通 英杰电器 力鑫 西格里石墨 美国UC保温毡 [键入文字] [键入文字] [键入文字]

五、变压器技术规范 1. 输入

额定电压：变压器每相带3个抽头3AC380V， 3AC400V，3AC420V 额定频率：50/60HZ 电压波动范围：342V~418V 2. 输出

额定容量：200KW 额定电压：3AC25V 3. 其他

加热控制方式：定周期调功方式 调压方式：变压器一次侧调压 变压器结构：△/Y 控制信号：4~20mA 功率因数：0.9

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六、设备布置图及土建资料

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七、多晶铸锭炉安装条件： （一）、供土建设计所有资料

1. 厂方要求安装起吊高度：≥6500mm 。

2. 厂房清洁度要求：密闭净化厂房（参考30-100万级根据当地风沙气候定），杜

绝可腐蚀性气体。

3. 安装地基：应放置在专用混凝土基础上，混凝土厚度≥250mm，承重能力≥10

吨/㎡。

4. 室内环境条件须恒温、恒湿，室温：20±5℃，相对湿度：≤65%

5. 厂房应尽量远离或避开振动源、外界振源：当大于10Hz时振幅值小于

0-0.003mm。

（二）、冷却用水的要求：用水量及压力流量 1、冷却水

入口压力最大：0.45MPa 入、出口压力差：0.25MPa

入口水温：≤28℃（最好24+－1℃） 流量：160-180L/min

2、备用水（紧急情况）：流量＞160L/min，维持时间≥10h，

备注：停水时立即换至备用水。 （三）、铸锭炉用各种气体、压力及用量 1、氩气压力及用量 压力：0.3MPa以上

流量：能提供0-200L/min的流量 消耗量：70-75m3左右/炉 2、压缩空气

压力：0.5MPa-0.7MPa 流量：100L/min 3、氦气（可选项） 压力：0.3MPa以上 用量：6-7m3/硅锭 （四）、铸锭炉各单元用电明细

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1、真空机组电源

电压：380V 频率：50Hz 功率：11.5kw 相数：3相 2、电控系统电源

电压：380V 频率：50Hz 功率：10kw 相数：3相 3、加热系统电源

电压：380V 频率：50Hz 功率：200kw 相数：3相

（五）、铸锭炉水气管路接口口径

1、配气管路接口：泄压安全阀接管口径 Φ150mm 氩气接管口径 NW-16法兰 氦气接管口径 NW-16法兰 2、冷却水接口：冷却水入、出口口径Rc2″ （六）、铸锭炉真空机组参数 1、真空机组

抽气速率：300L/s 主管路进气口径：Φ150mm 出气口口径：Φ76mm 辅管路进气口径：Φ16mm

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